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            CVD系統

            CVD系統

            產品型號: KM-CVD-1200-I-S

            所屬分類:單溫區微型CVD系統

            產品時間:2019-03-04

            簡要描述:CVD系統在常規產品上進行了一系列的改進,包括:供氣系統集成、真空系統集成等。體現出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。

            詳細說明:

            CVD系統特點:

            KM-CVD-1200-I-S單溫區微型CVD系統管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規產品上進行了一系列的改進,包括:供氣系統集成、真空系統集成等。體現出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。

            1、雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C;

            2、高純狀氧化鋁纖維絕緣層,大限度節約能源;

            3、爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命;

            CVD系統參數: 

            項目
            型號
            KM-CVD-1200-I-S
            爐管尺寸 Φ60×1000mm (Φ30/50/80/100mm可選)
            高溫度 1150℃
            工作溫度 1100℃
            推薦升溫速率 ≤10℃/min
            加熱區長度 440mm
            功率 3KW
            電壓 單相AC220V, 50Hz
            溫控系統 K型熱電偶
            集成式觸摸屏控制
            控溫精度 ±1 ℃
            密封系統 爐管兩端配有快開式密封法蘭
            外形尺寸 620mm(L) ×420mm(W) × 580mm(H)
            氣體量程 100~1000SCCM
            氣路數量 2~4路(MFC)
            氣路工作溫度 5~45℃
            VRD-8 大承載量:1000Lbs;抽氣速率:10m³/h;
            極限真空度:10-1Pa
            真空度 雙極旋片機械泵:極限10^-1Pa
            分子泵機組:極限10^-3 Pa


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